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      檢測系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:8997733

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      在目前多晶硅制備領(lǐng)域,生產(chǎn)三氯氫硅時會伴生產(chǎn)生四氯化硅、二氯二氫硅。也就是說,在多晶娃制備領(lǐng)域,二種氯娃燒不能單獨生廣,而是二種氯娃燒同時存在。其中,二氯氫硅是制備半導(dǎo)體級多晶硅和太陽能級多晶硅的重要原材料,也是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體。隨著國際國內(nèi)對多晶硅需求的日益增加,大批量以及高質(zhì)量的三氯氫硅的穩(wěn)定供應(yīng)就顯得及極其重要。目前,通常采用精餾技術(shù)對含氯硅烷中三氯氫硅進(jìn)行提純,雜質(zhì)含量越低越好,其中所說的雜質(zhì)包括各種形式存在的碳元素。在多...
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