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      一種在制備表面具有凹陷結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜中使用的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9073094

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      薄膜是采用特定的制備方法在基板表面上生長得到的一層薄固態(tài)物質(zhì),其具有表面能級(jí)大,粘附性強(qiáng)和改變光學(xué)性質(zhì)等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于電子電器,機(jī)械,印刷等行業(yè)。薄膜的制備方法按大類可分為物理氣相沉積法、化學(xué)氣相沉積法、溶膠凝膠法以及電沉積法。其中溶膠凝膠法中的旋涂法屬于高質(zhì)量的薄膜制備方法,可將表面具有微納結(jié)構(gòu)的基板作為母體,在旋涂工藝下便可以得到厚度均勻的微尺度功能結(jié)構(gòu)薄膜。有時(shí)為滿足薄膜的特殊使用要求,薄膜需要增加宏觀表面結(jié)構(gòu),如LED宏觀球面透鏡上增加宏觀結(jié)構(gòu)來...
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