技術(shù)編號：9087663
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及具有靜電類型的驅(qū)動結(jié)構(gòu)的微機(jī)電(MEMS)器件。背景技術(shù)眾所周知，已經(jīng)提出具有成對MEMS微反射鏡的微型投影機(jī)，每個MEMS微反射鏡被驅(qū)動用于繞自己的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。例如，在圖1和圖2示意性地圖示的系統(tǒng)中，光源1，通常為激光源，生成光束2 (通常包括三個單色光束，每個用于一個基本色)，其穿過僅示意性地圖示的光學(xué)器件3，由MEMS反射鏡對5、6轉(zhuǎn)向。例如，第一 MEMS反射鏡5可以是諧振類型的水平微反射鏡，其繞第一軸A (圖2)旋轉(zhuǎn)并且生成快速水平...
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