技術(shù)編號(hào)：9095947
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。現(xiàn)有的ITO導(dǎo)電膜玻璃靶材制作過程中，通常涉及到靶材的加熱。因此，靶材的受熱是否均勻是影響到靶材質(zhì)量的關(guān)鍵?，F(xiàn)有的制靶裝置均采用如下結(jié)構(gòu)存在以下弊端加熱部件同均熱部件完全分離，加熱效率低。加熱管的熱量由均熱盤來傳導(dǎo)，易造成加熱不均勻，溫度不均勻。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種新型制靶裝置，它用于改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)中至少一種缺陷，將加熱管和均熱盤做成一個(gè)整體，加熱管通電后直接加熱均熱盤，提高加熱效率，使得加熱均勻、整體溫度保持一致。達(dá)到上述目的的技術(shù)方案是...
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