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      一種跑道形振膜及包含此跑道形振膜的mems麥克風(fēng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9108544

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      微機(jī)電(MEMS micro-electro-mechanical system)麥克風(fēng)或稱娃麥克風(fēng)因其體積小、適于表面貼裝等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛用于平板電子裝置的聲音采集,例如手機(jī)、MP3、錄音筆和監(jiān)聽(tīng)器材等。為滿足人民群眾日益增長(zhǎng)的物質(zhì)文化需求,硅麥克風(fēng)的體積、成本、信噪比等指標(biāo)也在不斷地優(yōu)化提高。在相關(guān)優(yōu)化技術(shù)方案中,有許多針對(duì)振膜的優(yōu)化,如在振膜上設(shè)置褶皺、止擋、氣孔與/或錨區(qū)等。然而,出于設(shè)計(jì)方便與理論計(jì)算的簡(jiǎn)化,以及工藝方面的限制,現(xiàn)有技術(shù)中振膜的外形...
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