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      氣體隔離腔用的真空泵的真空泵防震單元的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9119221

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      首先,請(qǐng)參閱圖1、圖2所示,為現(xiàn)有的真空栗下懸組裝示意、真空栗側(cè)懸組裝示意圖;一般的光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料加工時(shí),為避免其遭受異物污染,多數(shù)會(huì)置入于氣體隔離腔9中以真空或以特殊氣體保護(hù)加工,而氣體隔離腔9在光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料至入前或后,利用真空栗8將氣體隔離腔9 一般氣體抽離至真空,而后,方可有利氣體隔離腔9以真空模式加工,或者,據(jù)高純度特殊氣體保護(hù)加工。另外,真空栗8組接于一機(jī)臺(tái)7,主要用于機(jī)臺(tái)7配置及相對(duì)裝設(shè)的氣體隔離腔9真空抽取,而真空栗...
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