技術(shù)編號：9156057
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。傳統(tǒng)的6寸石墨基座只能用在生長6寸外延層的腔體，使用比較單一。由于在半導(dǎo)體領(lǐng)域涉及生產(chǎn)訂單更換比較頻繁，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進步，大尺寸的外延片需求是市場所需，考慮到以后5寸外延片逐步淘汰，所需的5寸石墨基座也可能逐步淘汰，所以在做石墨備品備件時，由于石墨基座價格比$父昂貴，為了減少5寸石墨基座的米購量，需要用6寸石墨基座來代替使用。另外，為了應(yīng)對不同尺寸石墨晶片的生長，通常采用更換小盤基座的方式進行。如德國Aixtron公司的2400或2800系列石墨外...
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