技術(shù)編號：9159828
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體微電子行業(yè)，在工藝生產(chǎn)過程中會使用到大量特氣等工藝介質(zhì)，這就會有大量小直徑管道穿過工藝設(shè)備的柜體。正常運(yùn)行時(shí)，由于工藝設(shè)備的工作腔內(nèi)會通入有毒有害氣體反應(yīng)，為了保證環(huán)境和人員的安全，工藝設(shè)備柜體內(nèi)需要保持負(fù)壓狀態(tài)。為了讓管道穿板后柜體內(nèi)、外環(huán)境隔離開，就需要有一種很好的管道穿板用密封件來實(shí)現(xiàn)。目前，對于工藝設(shè)備柜體管道穿板的設(shè)計(jì)，主要采用直接在柜體上開通孔讓管道穿孔而過，然后，在孔隙處放置橡膠密封圈，用橡膠密封圈填補(bǔ)柜體和管道之間的縫隙進(jìn)行密封。然...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。