技術(shù)編號:9162035
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及測定被測物的形狀的形狀測定裝置。背景技術(shù)使用光學(xué)手段來測定被測物的形狀的形狀測定裝置廣泛用于檢查電子設(shè)備的外觀的工序中。上述工序包括如下兩個過程(I)測定電子設(shè)備的外形尺寸(幾毫米?一百幾十毫米),(2)檢查付著在該電子設(shè)備表面的傷痕、污漬(幾十微米?幾毫米)。即,形狀測定裝置在同一工序中分別測定尺寸大不相同的被測物。為了精度優(yōu)良地測定上述被測物,以往采用如下方法(a)在形狀測定裝置上搭載倍率相互不同的多個成像光學(xué)系統(tǒng)、并切換該多個成像光學(xué)系...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。