技術(shù)編號(hào)：9172114
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。當(dāng)今半導(dǎo)體晶片在GPP生產(chǎn)過程中因其特性需要用到大量光刻膠進(jìn)行掩膜作業(yè)，使用方式為旋轉(zhuǎn)涂覆，涂覆在晶片表面的有效光刻膠量為滴膠總量的1/3，其余2/3光刻膠在旋轉(zhuǎn)過程中被甩出流入廢膠收集瓶?jī)?nèi)，因廢膠內(nèi)含有碎片，固化膠塊等顆粒狀雜物及其粘性發(fā)生變化，所以不再使用進(jìn)行報(bào)廢處理。廢膠沒有過濾重復(fù)使用的方法，直接排掉造成成本浪費(fèi)；廢膠為有機(jī)化學(xué)物質(zhì)其分解過程漫長(zhǎng)，處理存在較大困難，直接排掉造成環(huán)境污染。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決上述技術(shù)問題，提供一種廢膠過濾裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。