技術(shù)編號：9176839
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜的喂料裝置，特別是涉及一種可往返于待命位置與喂料位置且可旋轉(zhuǎn)撥動的真空鍍膜的喂料裝置。背景技術(shù)真空鍍膜裝置具備維持真空的蒸鍍室與配置于蒸鍍室內(nèi)部的蒸鍍源，其利用蒸鍍源生成的待鍍原料蒸氣，使之沉積于設(shè)置在蒸鍍室的待鍍基材上而形成薄膜。因用戶各式不同的應(yīng)用目的，用戶可選擇適當(dāng)待鍍原料，例如金屬、金屬氧化物或有機(jī)物等做為待鍍原料，以于元件上成長出各式功能性薄膜。另外，真空蒸鍍技術(shù)可泛指熱阻式蒸鍍與電子束蒸鍍兩種，是在真空環(huán)境下透過以特定...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。