技術編號：9204364
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。電子電路的小型化逐年進展，與之相伴，電極的微細布線化也正在進展。在如此進行微細布線化的電極的制作中，通常采用光刻法。然而，在采用了光刻工藝的提離或濕式蝕刻中，在抗蝕劑涂布、干燥、曝光、顯影及膜的蝕刻等中，使用大量的溶劑或化學藥品、電力，因此對地球環(huán)境帶來大的負荷。對此，近年來，作為希望設備投資的負擔輕、可大量生產、低成本的優(yōu)點的方法，變?yōu)檫M行使用了印刷的電極形成。與光刻法相比，印刷法中使用原材料或化學藥品是少量的，因此作為有利于地球環(huán)境的綠色創(chuàng)新領域的技術...
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