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      一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置及其安裝方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9230549

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      目前,為使每個(gè)電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝保持穩(wěn)定性,需要等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。因此要求每次在工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位后,需要操作人員戴著高溫手套對(duì)18根進(jìn)電組件一一插進(jìn)鎖座、壓緊鎖座手柄;在工件架拉出沉積爐前又需要對(duì)18根進(jìn)電組件進(jìn)行手動(dòng)拔出。然而,由于生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)出爐時(shí)的高溫和時(shí)間的嚴(yán)格控制,操作人員的操作不規(guī)范,進(jìn)電組件接頭易松動(dòng)和被拔掉、卡槽缺少緩沖部分而造成受力不均勻等原因,使進(jìn)電組件的使用周期大大縮短,嚴(yán)重影響了進(jìn)電組件的...
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