技術(shù)編號：9239510
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS裝置，其包括MEMS微鏡面以及電流傳導(dǎo)激勵線圈，該線圈可實現(xiàn)在存在磁場時MEMS微鏡面關(guān)于振蕩軸的振蕩，其中所述磁場由磁體提供，所述磁體是單個多極磁體。背景技術(shù)MEMS微鏡面裝置是含有光學(xué)MEMS (微電機械系統(tǒng))的裝置。光學(xué)MEMS可包括適應(yīng)于移動并隨時間偏轉(zhuǎn)光的橢圓形、圓柱形、矩形、方形或隨機形狀的微鏡面。微鏡面通過懸臂連接到固定部件，并可沿一個或兩個軸傾斜和振蕩。例如，它可垂直和水平振蕩?？墒褂貌煌募钤?，包含靜電的、熱的、電磁...
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