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      一種plc平面光波導(dǎo)與微流量計(jì)的集成加工方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9260726

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      光流量器近些年來發(fā)展很快。這一領(lǐng)域綜合了微流量計(jì)和光器件方面的技術(shù),其應(yīng)用產(chǎn)品包括生化傳感器,能量和圖像顯示器等。其中,微流量計(jì)器件的基本結(jié)構(gòu)是加工一個(gè)嵌入式的通道讓流體產(chǎn)生微流動(dòng),然后在其上再加工光波導(dǎo)就形成了光流量器。很多研宄機(jī)構(gòu)目前用環(huán)氧樹脂PDMS(聚二甲基硅氧烷)作為微流量計(jì)器件的主要材料,由于其有良好的光學(xué)性能和容易制造,然而環(huán)氧樹脂材料的化學(xué)穩(wěn)定性不佳,高溫或其它環(huán)境因素會(huì)損壞器件的使用性能。另一種方法是利用玻璃材料作為微流量計(jì)器件的主要材料...
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