技術(shù)編號(hào):9262407
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。如圖1及圖2所示,現(xiàn)有技術(shù)常見(jiàn)的四元系發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),在基板10 —面上生長(zhǎng)發(fā)光結(jié)構(gòu)20,在發(fā)光結(jié)構(gòu)20上形成第一電極30,在第一電極30四周形成粗化層40,粗化層40與第一電極30直接接觸,在基板10另一面形成第二電極50。所述四元系發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)在制作時(shí),在基板10上如金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(M0CVD)、分子束外延(MBE)等方法生長(zhǎng)發(fā)光結(jié)構(gòu)20 ;用蒸鍍或?yàn)R射等方式,在發(fā)光結(jié)構(gòu)20上形成金屬層;通過(guò)曝光、顯影、蝕刻工藝,制作出第一電極30 ;然后用熱...
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