技術編號：9273227
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前顯微鏡對焦方法主要分為主動對焦和被動對焦方法。偏心光束法離焦量探測是激光三角法測量的一種具體形式，具有結構廉價、計算簡單的特點，在表面微觀檢測、非接觸測量都有著廣泛應用。但是，目前的偏心光束法離焦量探測光路都是采用刀口將圓形光束遮擋成半圓形光束的方式區(qū)分正離焦和負離焦狀態(tài)，通過半圓探測光斑的偏心方向確定離焦方向，通過光斑的大小確定離焦量大小。其缺點包括當離焦量趨近于零時激光光束衍射嚴重，難以形成理論上的點斑，嚴重影響了正對焦位置附近的離焦量探測精度；此...
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