技術編號：9291506
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明具有靜電擺式加速度計的傳感器以及控制這種傳感器的方 法 本發(fā)明涉及靜電擺式加速度計傳感器以及控制這種傳感器的方法。作為示例，該 傳感器可以是微機電系統(tǒng)（MEMS)類型。 靜電擺式加速度計包括外殼，該外殼具有經由一個或多個鉸鏈連接到此的振蕩質 量塊（seismicmass)所述一個或多個鉸鏈按使得所述振蕩質量塊形成可相對于外殼要么 平移要么旋轉地移動的擺錘的方式放置。振蕩質量塊在加速度的影響下的移動通常借助于 三個電極來檢測。靜止的第一和第二電極被固...
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