技術編號：9328607
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。離子束刻蝕技術是一種在真空條件下利用離子束對樣品進行微細加工的技術，主要包括硬件和軟件兩部分，硬件部分是離子束刻蝕裝置的設計和制造，軟件部分是指對已有設備的刻蝕情況進行研究，得到更好的刻蝕結果?，F(xiàn)有離子束刻蝕系統(tǒng)的載物臺均為單層載物臺設計，具單層載物臺的離子束刻蝕系統(tǒng)單機生產(chǎn)能力不足，批量作業(yè)時刻蝕系統(tǒng)開停機頻繁、刻蝕系統(tǒng)時間稼動率低下，生產(chǎn)工時長，由此造成離子束刻蝕系統(tǒng)利用率及產(chǎn)能低下，提高了生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術的不足，提供了...
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