技術(shù)編號：9328624
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在自然界中，物質(zhì)以多種相態(tài)存在，其中包括固態(tài)和液態(tài)，當(dāng)液態(tài)物質(zhì)與固態(tài)物質(zhì)接觸時，液態(tài)物質(zhì)與固態(tài)物質(zhì)之間產(chǎn)生表面張力作用，不同相態(tài)物質(zhì)接觸時，由于表面張力的互相作用使得不同相態(tài)物質(zhì)之間的接觸方式不同，例如固液相物質(zhì)接觸，即有潤濕或者不潤濕狀態(tài)。由于半導(dǎo)體制造過程中，有很多小尺寸結(jié)構(gòu)和/或高深寬比結(jié)構(gòu)，小尺寸結(jié)構(gòu)比如55nm制程的后道互聯(lián)的通孔，其尺寸小于lOOnm，而高深寬比結(jié)構(gòu)是指深寬比(深度高度)大于5的結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體制造工藝中，濕法工藝包括濕法刻蝕以及...
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