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      具有空氣環(huán)及溫度補償層的聲諧振器裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:9330115

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      聲諧振器可用于在各種電子應(yīng)用中實施信號處理功能。舉例來說,一些蜂窩式電 話及其它通信裝置使用聲諧振器來實施用于所發(fā)射及/或所接收信號的頻率濾波器??筛?據(jù)不同應(yīng)用而使用數(shù)種不同類型的聲諧振器,其中實例包含體聲波(BAW)諧振器,例如薄 膜體聲諧振器(FBAR)、耦合式諧振器濾波器(CRF)、堆疊式體聲諧振器(SBAR)、雙重體聲諧 振器(DBAR)及固態(tài)安裝式諧振器(SMR)。舉例來說,F(xiàn)BAR包含在腔上方的底部(第一)電 極與頂部(第二)電極之間的壓電...
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