技術編號：9332842
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明基板位置對準器 發(fā)曰月背景 發(fā)明領域 本發(fā)明的實施方式涉及基板位置對準器（aligner)。更準確地說，所公開的實施方 式涉及用于對準豎直基板的方法及設備。 現(xiàn)有技術描述 在半導體制造中常使用基板運輸器，以便將基板傳送通過各種制造工藝?；?板運輸器通常包括具有基板夾持器的傳送機械手，該基板夾持器用于通過保持（hold) 基板的邊緣來保持該基板。然而，基板經常包括諸如平口（flat)或槽口（notch)之類 的切口（cut)，該切口制成于一個或更多個...
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