技術(shù)編號：9355078
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明 相關(guān)申請的交叉引用 本申請要求于2013年4月5日申請的美國臨時(shí)申請61/809, 027的權(quán)益。在此將 該臨時(shí)申請的全文通過引用并入本文中。 本發(fā)明涉及一種源收集器設(shè)備，尤其是用于光刻設(shè)備中的源收集器設(shè)備，以及一 種用于削弱燃料液滴流中的伴生液滴（satellitedroplet)的潛在的負(fù)面影響的方法和設(shè) 備。背景技術(shù) 光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如，可以將光刻 設(shè)備用在集成電路（IC)的制造中。在這種情況下，可以...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。