技術(shù)編號(hào)：9381190
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)是一種體積微小的麥克風(fēng)，也是利用半導(dǎo)體制作工藝所完成的元件，可以和半導(dǎo)體制作工藝的集成電路連接。圖1繪TJK傳統(tǒng)的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)。參閱圖1，傳統(tǒng)的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)包括微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)101。微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)101則包括基板100?；?00例如是半導(dǎo)體基板，還例如是硅基板。利用半導(dǎo)體制作工藝的光刻與蝕刻，基板100會(huì)形成對(duì)外接收聲源的空腔(Cavity) 112。在基板100的另一面上至少還有微電容器104的結(jié)構(gòu)。微電容器104包括振膜(di...
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