技術編號:9411947
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。在有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting D1de,0LED)顯示器的制作中,蒸發(fā)鍍膜是一項必不可少的制作工藝。在蒸發(fā)鍍膜工藝所采用蒸鍍設備中,最主要的是坩禍和用于放置坩禍的蒸發(fā)源結構,該兩個裝置的設計合理與否直接關系到成膜的質量和膜的特性?,F(xiàn)有技術其中一種蒸發(fā)源結構如圖1所示,蒸發(fā)源結構包括呈螺旋狀的加熱絲1,圍繞坩禍2設置,利用一條加熱絲可以對整個坩禍2進行加熱;圖2為現(xiàn)有技術另一種蒸發(fā)源結構的示意圖,蒸發(fā)源結構包括多個平行設置的...
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