技術(shù)編號：9428111
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域，對于濺射靶材產(chǎn)品的制造工藝，通常要將符合濺射靶材性能的高純度鋁或鋁合金靶材與高強(qiáng)度鋁環(huán)背板、Cu環(huán)背板或Cu合金環(huán)背板經(jīng)過焊接成形，然后再經(jīng)過粗加工、精加工等工藝，最后加工成尺寸合格的濺射靶材產(chǎn)品。對于濺射靶材來說，焊接后靶材表面溫度不能高于其再結(jié)晶溫度，否則會導(dǎo)致靶材內(nèi)部晶粒大小和取向的變化，并且鋁合金的導(dǎo)熱系數(shù)特別大，傳熱迅速，只有采用能量非常密集的熱源才有可能確保焊縫熔化的同時(shí)，能有效控制靶材表面溫度，目前的焊接方法中通常只有電子束...
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