技術(shù)編號：9443999
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明 本發(fā)明申請為申請日為2011年5月24日，申請?zhí)枮?01180026596. 7,發(fā)明名稱為 "高表面電阻率靜電吸盤"的發(fā)明申請的分案申請。 巧關(guān)申請案 本申請案主張2010年5月28日申請之美國臨時(shí)申請案第61/349504號之權(quán)利。 W上申請案之全部教示被W引用的方式并入本文中。 根據(jù)本發(fā)明之一具體實(shí)例，提供一種靜電吸盤。該靜電吸盤包含一電極及一表面 層，該表面層由該電極中之一電壓啟動(dòng)W形成一電荷W將一基板靜電夾持至該靜電吸盤， 該表面層包括...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。