技術(shù)編號(hào)：9464785
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。術(shù)語(yǔ)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)或微機(jī)械系統(tǒng)常常用于指代組合了電部件與機(jī)械部件的小型集成裝置或系統(tǒng)。當(dāng)將重點(diǎn)放在微機(jī)械部分上時(shí)，術(shù)語(yǔ)“微機(jī)械系統(tǒng)”可以用于描述包括一個(gè)或多個(gè)微機(jī)械元件并且可能但并不一定包括電部件和/或電子部件的小型集成裝置或系統(tǒng)。微機(jī)械系統(tǒng)可以用作例如致動(dòng)器、變換器或傳感器，例如壓力傳感器。壓力傳感器目前是汽車(chē)電子設(shè)備和消費(fèi)品電子設(shè)備中的大批量產(chǎn)品。對(duì)于很多這些應(yīng)用而言，使用了其中傳感器被集成在專用集成電路(ASIC)中的系統(tǒng)。例如，英飛凌科技股...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。