技術(shù)編號：9472729
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。圖形化藍(lán)寶石襯底(PSS, patterned sapphire substrate)作為氮化鎵(GaN)基發(fā)光二極管照明外延襯底材料，由于其能降低氮化鎵外延薄膜的線位錯密度，并顯著提高發(fā)光二極管的光萃取效率而得到廣泛研究與應(yīng)用。一方面，圖形化藍(lán)寶石襯底圖案通過反射改變光的軌跡，使光在界面出射的入射角變小(小于全反射臨界角)，從而發(fā)生透射，提高光的提取率；另一方面，圖案還可以使后續(xù)的氮化鎵生長出現(xiàn)側(cè)向磊晶的效果，減少晶體缺陷，提高發(fā)光二極管內(nèi)量子效率。PS...
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