技術(shù)編號：9475416
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 在生產(chǎn)多晶硅的諸如流化床反應(yīng)器的氣體分解反應(yīng)器的常規(guī)操作中，包含氫氣和 硅烷（可使用SiH4以及其鹵素衍生物中的任意物質(zhì)）的輸入氣體在加熱反應(yīng)器中懸浮一列 種子顆粒。氣體的合成和流速是重要參數(shù)并且進行保持顆粒懸浮而不彼此熔合的操作。目 前，由大尺度質(zhì)量平衡來確定過程的轉(zhuǎn)換效率。 氣體是反應(yīng)的，這可以導(dǎo)致在氣體達到質(zhì)量流控制器之前發(fā)生分解，或可能導(dǎo)致 在質(zhì)量流控制器本身內(nèi)分解。質(zhì)量流控制器根據(jù)泊肅葉（Poiseuille)原理采用與毛細管 直徑的四次方成比...
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