技術(shù)編號(hào)：9482848
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。非晶碳化硅SiC納米材料，由于其獨(dú)特的形貌與電子結(jié)構(gòu)而呈現(xiàn)出一系列獨(dú)特的性質(zhì)。非晶SiC的電子結(jié)構(gòu)與晶化的SiC納米材料的完全不同，非晶SiC的相關(guān)物理性質(zhì)在一定程度上具有可調(diào)性。現(xiàn)在研究較多的是非晶SiC薄膜，其在電子及光電領(lǐng)域，如太陽(yáng)能電池、發(fā)光二極管、顏色傳感器、高溫工程材料及大面積電致發(fā)光裝置中應(yīng)用前景廣闊，因而近年來對(duì)非晶SiC薄膜的研究較多。人們利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，熱絲化學(xué)氣相沉積，電子回旋共振化學(xué)氣相沉積，激光化學(xué)氣相沉積，和射頻濺...
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