技術編號:9493066
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 多晶體硅顆粒,或簡稱多晶硅顆粒,是西門子方法所制造的多晶硅的替代品。然 而,在西門子方法中,多晶硅以圓柱體硅棒產(chǎn)生,這使其在進一步加工前必須以耗時且成本 高昂的方式粉碎成所謂的碎片多晶硅,并且可能還需要凈化;多晶硅顆粒具有粒狀產(chǎn)品特 性且可直接作為原料使用,例如,用于光伏和電子工業(yè)的單晶生產(chǎn)。 多晶娃顆粒是在流化床反應器中制造的。其是如下實施借助流化床中的氣流,使 硅顆粒流化,其中所述流化床借助加熱器加熱至高溫。通過添加含硅反應氣體,在熱顆粒表 面進行熱...
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