技術(shù)編號:9493149
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 在液晶顯示元件等電子材料領(lǐng)域等中,使用形成有圖案的膜,作為用于所述膜的 形成中的抗蝕材料之一,開發(fā)有利用了光聚合反應(yīng)的射線敏感性樹脂組合物。射線敏感性 樹脂組合物追求優(yōu)異的感度及解析度(以下也稱為顯影性),例如,開發(fā)有專利文獻1的射 線敏感性樹脂組合物。 該射線敏感性樹脂組合物中含有的共聚物由于包含來自具有羧基的(甲基)丙烯 酸的結(jié)構(gòu)單元及來自具有環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的結(jié)構(gòu)單元,故而具有基于 堿性顯影液的顯影性,所形成的膜獲得耐性。更進一步,...
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