技術(shù)編號：9522245
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種功能元件、該功能元件的制造方法、具備該功能元件的電子設(shè)備以及移動體。背景技術(shù)近年來，使用例如娃MEMS (Micro Electro Mechanical System微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)而開發(fā)出一種對角速度進(jìn)行檢測的作為功能元件的角速度傳感器(陀螺傳感器)，并且其被應(yīng)用于車輛的車身控制、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的本車位置檢測、數(shù)碼照相機(jī)、攝像機(jī)以及移動電話的振動控制補(bǔ)償(所謂的手抖補(bǔ)償)等。在專利文獻(xiàn)1中，公開了一種角速度傳感器，其中，驅(qū)動為使質(zhì)量體進(jìn)行與...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。