技術(shù)編號：9525545
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，尤指一種能夠同步將二晶圓環(huán)送入與取出一承載單元的方法及其裝置。背景技術(shù)請配合參考第1圖與第2圖所示，現(xiàn)有的晶粒取放方式，其系于一晶圓環(huán)10設(shè)置有一藍膜。藍膜的一面貼附有多個晶粒11。具有多個晶粒11之晶圓環(huán)10系設(shè)置于一晶舟盒中。晶舟盒系設(shè)置于一升降單元的頂端。升降單元系將晶舟盒上升至一設(shè)定高度或下降至一設(shè)定距離，以使一夾爪20能夠晶圓環(huán)10由晶舟盒中夾出，并將晶圓環(huán)10放置于一承載機構(gòu)21中。如第2圖所示，當晶圓環(huán)10位于承載機構(gòu)21中后...
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