技術(shù)編號:9528983
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 眾所周知在氧化銦中添加了鈰(Ce)的膜的折射率高,且在光學(xué)膜的設(shè)計方面為 有用的材料。 例如,專利文獻(xiàn)1中,揭示了一種含有10質(zhì)量%~40質(zhì)量%的氧化鈰且剩余部分 包含氧化銦的濺鍍靶材,亦即,將Ce相對于In、Ce的合計的原子比即CeAln+Ce)設(shè)定為 0. 082~0. 35的范圍的In-Ce-Ο系濺鍍靶材,使用此種濺鍍靶材,獲得折射率為2. 0以上的 膜(光碟用保護(hù)膜)。 此外,上述派鍍祀材是由In-Ce-Ο系氧化物燒結(jié)體制作而成,所述In-Ce-...
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