技術(shù)編號：9535851
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。離子束拋光是在光學(xué)元件精拋光階段使用的一種技術(shù)手段，離子束拋光技術(shù)是在真空環(huán)境下，利用由離子源發(fā)射出的具有一定能量與空間分布的離子束流轟擊光學(xué)表面，入射離子在光學(xué)表面一定深度內(nèi)發(fā)生濺射效應(yīng)，通過級聯(lián)碰撞將能量傳遞給工件原子使其離開其原位置，當工件原子運動到工件表面并且能量大于材料的表面束縛能時工件原子飛離材料表面形成材料去除。離子束拋光可以獲得穩(wěn)定的去除函數(shù)，結(jié)合CC0S加工原理對光學(xué)表面進行加工，確定性高，面形收斂快。如圖1所示，加工工裝2固定在工裝板3...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。