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      一種器件微米尺度二維溫度分布的測量方法及系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:9544946

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      隨著工業(yè)界對電子器件性能需求的提升,其元器件的尺寸不斷減小,微米、納米電 子器件已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各種大規(guī)模集成電路。這種小尺寸的電子器件電阻阻抗通常比較 大,使得焦耳熱效應(yīng)不可忽略。電子器件通道內(nèi)的局域阻抗非常小的變化,就有可能在電子 器件上產(chǎn)生局部高溫。局部高溫區(qū)域如果不被發(fā)現(xiàn)和處理,可能會導(dǎo)致器件性能退化或損 傷。為了避免對器件的災(zāi)難性破壞,準(zhǔn)確獲得局部高溫區(qū)域的位置至關(guān)重要。但是,局域高 溫位置不僅依賴于器件設(shè)計,還與集成電路的質(zhì)量有關(guān),往往很難先驗...
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