技術(shù)編號(hào)：9544989
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體傳感器裝置，例如壓力傳感器，是眾所周知的。這些裝置使用半導(dǎo)體壓力傳感管芯去感測(cè)環(huán)境大氣壓力。這些管芯易于受到封裝期間的機(jī)械損傷和使用中的環(huán)境損傷，因而他們必須被小心封裝。另外，壓力傳感管芯，例如壓電電阻換能器(PRT)和參數(shù)化布局單元(parameterized lamyout cell,簡稱P單元(P-cell)),不允許完全包封，因?yàn)檫@將有礙于其功能性。圖1示出了一種常規(guī)的封裝的半導(dǎo)體傳感器裝置100的側(cè)面剖視圖。半導(dǎo)體傳感器裝置100具有預(yù)模制...
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