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      具連接到浮動擴散區(qū)的半導體電容的背感光式半導體結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:9549540

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      已知技術(shù)中,背感光式半導體結(jié)構(gòu)必須具有足夠大的浮動擴散區(qū),以當感光元件的光感測區(qū)感光而產(chǎn)生電荷之后,能夠藉由浮動擴散區(qū)的等效電容效應來儲存電荷。但在背感光式的半導體結(jié)構(gòu)中,由于浮動擴散區(qū)也在入射光線的照射范圍之內(nèi),同時不像前感光式半導體結(jié)構(gòu)一般,具有金屬層等屏蔽結(jié)構(gòu),因此浮動擴散區(qū)也可能會受到入射光線的影響而產(chǎn)生光電反應,這對于感光信號的判斷會產(chǎn)生干擾,同時使得信號信噪比下降。為了減少浮動擴散區(qū)受到感光影響,已知技術(shù)有使用盡量降低浮動擴散區(qū)面積的作法,以避...
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