技術編號：9553490
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及表面聲波器件的制造方法以及表面聲波器件。背景技術聲學共振器結構(例如，表面聲波(SAW)器件10)使用設置在壓電襯底100上的一個或多個交叉?zhèn)鞲衅?IDT) 111來將電信號轉化為聲波，或將聲波轉化為電信號，如圖1A所示意性地表示的那樣。在濾波應用中，經(jīng)常使用這樣的SAW或共振器。射頻(RF)SAW技術具有極佳的性能(例如，高隔離性和低插入損耗)，并且廣泛用于無線通信應用中的RF雙工器(DPX)。為了與基于RF體聲波(BAW)技術的RF DPX競...
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