技術(shù)編號：9573392
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開涉及用于制造在制造多晶硅覆層的顆粒材料的流化床反應器中使用的分段碳化娃襯的碳化娃材料、粘合材料和接合部設計。背景技術(shù)由于出色的質(zhì)量和熱量傳遞、增加的沉積表面和連續(xù)的生產(chǎn)，含娃氣體在流化床中的熱解分解是用于生產(chǎn)光伏和半導體工業(yè)使用的多晶硅的有吸引力的方法。與Siemens類型的反應器相比，流化床反應器以一部分能量消耗提供了明顯更高的生產(chǎn)速率。流化床反應器可以被高度自動化以顯著降低勞動力成本。在流化床反應器中通過包括含硅物質(zhì)例如甲硅烷、乙硅烷或鹵代硅烷例...
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