技術(shù)編號：9592439
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。化學(xué)氣相沉積，是反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)，固態(tài)物質(zhì)沉積在作用對象基體表面，從而得到目標(biāo)材料的工藝技術(shù)?，F(xiàn)有化學(xué)氣相沉積是通過測量作用對象的重量來判定作用對象是否達(dá)標(biāo)。即，將作用對象放置在通有氣態(tài)反應(yīng)物的加熱爐內(nèi)，每沉積一次均進(jìn)行稱重，直至產(chǎn)品合格。每次沉積稱重由技術(shù)人員根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，選擇一定沉積時(shí)間后，然后將沉積后的作用對象取出加熱爐進(jìn)行，若作用對象重量不達(dá)標(biāo)，則重復(fù)上述步驟直到重量達(dá)標(biāo)為止。然而，現(xiàn)有對作用對象稱重的過程中，每次稱重都需...
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