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      一種霍爾元件及其制備方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9599355

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      霍爾元件在制備過程中,因?yàn)椴牧仙L(zhǎng)或者工藝等原因,會(huì)產(chǎn)生結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱,從而導(dǎo)致在不加磁場(chǎng)的情況下,輸入兩端通入電流,在輸出兩端會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電壓,該電壓稱為不平衡電壓,或者失調(diào)電壓。受限于材料生長(zhǎng)及工藝水平,在霍爾元件制備過程中,沒有辦法完全消除不平衡電壓。而不平衡電壓的存在,會(huì)使實(shí)際的霍爾輸出電壓偏離真實(shí)值,從而影響霍爾兀件的精度。單晶材料在濕法腐蝕過程中,存在各向異性。以GaAs單晶材料為例,如圖4所示,在同樣的腐蝕溶液中,一般有(110)晶面的腐蝕速率大...
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