技術編號：9602621
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。以掃描電子顯微鏡為代表的帶電粒子束裝置，向試樣上的希望的區(qū)域(視野)掃描帶電粒子束，與掃描位置對應地記錄從該掃描區(qū)域釋放的帶電粒子信號，由此使觀察位置圖像化。在掃描電子顯微鏡中，加速電壓、探針電流、物鏡與試樣之間的距離和信號檢測器等可自由設定的參數(shù)有很多，成為給人留下操作復雜的印象的主要原因。另外，在每次改變這些參數(shù)時，需要光軸調(diào)整、像散調(diào)整等各種各樣的調(diào)整作業(yè)。作為與本發(fā)明相關的現(xiàn)有技術文獻，有專利文獻1和專利文獻2。兩文獻也都涉及帶電粒子束裝置的自動調(diào)...
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