技術(shù)編號(hào)：9609650
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，超純硫酸的研制和生產(chǎn)亦快速發(fā)展。超純硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷電路板的腐蝕和清洗。超純硫酸一般采用蒸餾工藝生產(chǎn)，此工藝不能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，環(huán)境污染大和生產(chǎn)危險(xiǎn)度高。另一種方法是三氧化硫直接吸收工藝，該工藝目前我國尚無先例。為解決上述問題，特研發(fā)出一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，由吸收塔、酸冷器、S02脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲(chǔ)罐、循環(huán)罐、超純水制備機(jī)和...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。