技術(shù)編號(hào)：9626841
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。玻璃與金屬的連接在微傳感器與微執(zhí)行器等微電子器件制造過(guò)程中具有很重要的作用，陽(yáng)極鍵合廣泛應(yīng)用于玻璃板與金屬板的連接過(guò)程中，但是陽(yáng)極鍵合工藝要求玻璃板與金屬板層疊在一起放置在兩個(gè)平行的電極板中間，施加垂直于連接界面的電場(chǎng)，通過(guò)施加電場(chǎng)和溫度場(chǎng)實(shí)現(xiàn)二者的連接。兩個(gè)電極板的距離一般在毫米級(jí)，這樣可以施加幾百伏的電壓實(shí)現(xiàn)鍵合。如果要將玻璃板與金屬板以相互垂直的方式進(jìn)行連接，就需要增大兩個(gè)電極板的間距，電壓也要成比例的增加，這樣理論上就需要數(shù)十萬(wàn)伏的高壓，同時(shí)電極板...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。