技術(shù)編號:9632568
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體器件可以包括若干不同的材料,以便受益于它們的性質(zhì)(例如物理參數(shù)(比如導(dǎo)電率和/或?qū)崧?)上的差異。通過示例的方式,半導(dǎo)體可以與金屬結(jié)構(gòu)組合,以便利用它們的導(dǎo)電率上的差異,例如,(相對厚的)導(dǎo)電金屬層(例如銅層)可以被布置在半導(dǎo)體硅晶片上??梢灾饕乇焕迷谂c半導(dǎo)體組合的材料中的參數(shù)可以被提及為主要參數(shù)。然而,性質(zhì)上的差異可能在半導(dǎo)體器件的制造和/或使用期間招致問題。例如,不同的材料(例如銅和硅)可能在它們的熱延展系數(shù)(CTE)上不同。半導(dǎo)體器件的溫...
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