技術編號:9644996
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明設及一種薄膜厚度分布及其均勻性的測量技術,具體設及一種基于重帶電 粒子束與自動逐次掃描測量相結合的方式的薄膜質量厚度分布及其均勻性的射線測量新 方法。背景技術 近幾十年來,薄膜制備科學與技術獲得了蓬勃的發(fā)展。由真空蒸鍛、磁控瓣射、分 子束外延等各種成膜方法所制備的薄膜已經應用到了包括電子信息、能源、航空航天等幾 乎所有的科學與,甚至包括激光慣性約束聚變(1C巧運樣的高科技領域。薄膜材 料的廣泛應用歸因于其與同種材料的大塊物質相比具有的不同的物理、化...
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