技術(shù)編號:9647758
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。電感是能夠把電能轉(zhuǎn)化為磁能而存儲起來的元件,是包括集成電路在內(nèi)的電子電路中的常用電子元件。對于被動器件的電感器而言,其最重要的性能是電感器的品質(zhì)因子Q,在高阻襯底上制作電感時電感Q值主要由襯底電阻決定,襯底電阻越高,電感Q值越大,電感性能越好。但是,由于高阻襯底的摻雜濃度非常低,表面容易形成反型或增強(qiáng)導(dǎo)電層,該表面導(dǎo)電層會降低高阻襯底有效電阻從而導(dǎo)致電感性能降低。同時,隨著對器件性能要求的提高,希望能夠提供能夠提高被動器件電感器的Q值的技術(shù)方案。雖然現(xiàn)有技...
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